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微机电系统是一项20世纪末兴起、21世纪初开始快速发展起来的高新技术.该文介绍了微机电系统的起源和特点,对微机电系统的加工技术、封装技术、测试技术、应用、国内发展现状及发展前景进行了较全面的论述.
微机电系统的发展现状和应用
【摘 要】
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微机电系统是一项20世纪末兴起、21世纪初开始快速发展起来的高新技术.该文介绍了微机电系统的起源和特点,对微机电系统的加工技术、封装技术、测试技术、应用、国内发展现状
【机 构】
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西安电子科技大学,河南工业职工技术学院
【出 处】
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机电设备
【发表日期】
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2005年6期
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