论文部分内容阅读
为了探索声表面波器件制作工艺，在压电器件工作原理的基础上，通过设计声表面波器件的工作频率、叉指宽度、间隙及对数等器件参数，绘制了掩模板，对制作的声表面波器件进行测试，制作了不同叉指对数、孔径长度、中心距离的电极．实验结果表明：以石英为基底，使用EPG533型光刻胶在前烘温度为105℃，曝光时间为8S，显影时间为50S时获得了较理想电极图形和稳定的实验参数．