【摘 要】
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为了获得镀层平整、致密的金属铜结构,经过反复实验研究获得了电铸铜溶液的最优化配比.首先采用UV-LIGA工艺制作出SU-8胶膜微结构,其次以此光刻固化后的结构作为模具,进行电
【机 构】
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中北大学电子测试技术重点实验室和仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【基金项目】
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863计划项目（2013AA041109）资助
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为了获得镀层平整、致密的金属铜结构,经过反复实验研究获得了电铸铜溶液的最优化配比.首先采用UV-LIGA工艺制作出SU-8胶膜微结构,其次以此光刻固化后的结构作为模具,进行电铸试验.通过对电镀参数的反复调整,获得效果最优的镀液配比分别为：CuSO4·5H20的质量浓度为180 g/L,98％的H2S04为70 g/L,纯度为37％的HCl是0.188 mL/L,光亮剂210A、210B、210C分别为0.4 mL/L、0.3 mL/L、4 mL/L.实验结果表明,电铸获得的模具镜面光亮、无分界、
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