二维多光栅折叠光谱分析仪的研制

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宽光谱、高分辨、高速光谱获取和分析技术在光电子材料、太阳能、化学、生物医学、环境、国防等领域具有重要的研究意义和应用价值,是现代光谱分析仪器的核心。为了实现宽光谱、高分辨率和快速的光谱测量和分析,在本研究中,突破传统单光栅和棱镜等色散元件有限色散角和光谱效率的限制,采用二维CCD面阵光电探测技术,将具有不同闪耀角和色散特性的10光栅进行集成组合,在200~1000nm光谱区,获得10重折叠光谱,成像在CCD面阵探测器的焦平面上,从而将光谱的有效探测区长度扩展了10倍,达到268mm。经系统定标后,测量结果显示,无需任何机械位移部件,新的光谱分析系统可达到优于0.1nm的分辨率,能够在0.1s时间内完成200~1000nm全光谱数据的快速获取和分析,将能够在科学研究和高科技领域获得重要应用,体现了高性能光谱分析技术研究和发展的趋势。 Broad-spectrum, high-resolution, high-speed spectral acquisition and analysis technology is of great research significance and application value in optoelectronic materials, solar energy, chemistry, biomedicine, environment and national defense. It is the core of modern spectroscopic analysis instruments. In order to achieve wide-spectrum, high-resolution and fast spectral measurement and analysis, the limitations of the limited dispersion angle and spectral efficiency of traditional single grating and prism are overcome in this study. Two-dimensional CCD array photoelectric detection technology 10 gratings with different blaze angle and dispersion characteristics are integrated and combined to obtain a 10-fold refraction spectrum in the 200-1000 nm spectral range, which is imaged on the focal plane of the CCD area array detector to extend the effective detection area length of the spectrum by 10 Times, reaching 268mm. After the calibration of the system, the measurement results show that without any mechanical displacement components, the new spectral analysis system can achieve better than 0.1nm resolution, and can quickly obtain and analyze 200-1000nm full spectrum data within 0.1s, Will be able to obtain important applications in scientific research and high-tech fields, reflecting the trend of research and development of high-performance spectral analysis technology.
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