论文部分内容阅读
利用乙二醇的分子结构和氢键在10万级的超净环境下成功地进行了多层乙二醇环境下的硅／硅直接键合，并在氮气保护下1100℃热处理后进行了拉力强度测试，平均键合强度达到了10MPa．SEM观测表明，在键合界面没有发现孔洞和空隙,该方法同样适用于Ⅲ-Ⅴ族化合物的直接键合．这为发展多层结构、多功能集成的MEMS结构器件奠定了良好的工艺基础。