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XY平台直线伺服系统中，负载扰动、机械时间延迟及各轴响应速度不同会影响轮廓加工精度，为此提出了一种将积分-比例（I-P）控制、速度前馈控制及变增益交叉耦合控制相结合的控制策略。单轴采用由IP控制和前馈控制构成的复合速度控制器，IP控制具有快速响应和抑制扰动的能力，速度前馈控制可增加系统跟踪能力，降低机械时间延迟效应。间接减小轮廓误差。并且，在X、Y轴间加入变增益交叉耦合控制器，直接减小轮廓误差。仿真结果表明该控制方案可增强系统的鲁棒性，提高系统的快速性和轮廓加工精度。