用热丝法在硬质合金基体上沉积金刚石膜的研究

来源 :理化检验(物理分册) | 被引量 : 0次 | 上传用户:chueri1
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用XRD,SEM和Raman光谱仪,洛氏硬度计等分析检测手段。研究了经表面两步法侵蚀后,YG15硬质合金基体上用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构,显微组织,化学纯度及粘结性能等,结果表明,硬质合金基体表面一定深度范围内钴含量的变化。对金刚石薄膜的晶体结构取向,组织形态,化学纯度及粘结性能等有很大影响。(1)在基体表面深度约为5μm范围内,当钴含量为0.81%时,金刚厂长汪膜具有明显的{111}面取向,其金刚石纯度较高;而当钴含量为1.05%时,具有{110}和{111}面的混合取向,其金刚石纯度较低,且
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