【摘 要】
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双波段红外探测器是第三代焦平面探测器发展的重要方向之一，二类超晶格材料由于其优异的光电性能而成为制备双色红外探测器的优选材料之一。本文报道中长波双色二类超晶格器件结构设计、材料外延、读出电路设计、芯片加工、组件化等方面研究进展，通过对刻蚀以及钝化工艺进行了优化，制备出性能良好的640×512中长双色二类超晶格红外探测器，主要指标实现像元中心间距20μm,读出方式同时读出，中波波段3.5～4.8μm
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双波段红外探测器是第三代焦平面探测器发展的重要方向之一，二类超晶格材料由于其优异的光电性能而成为制备双色红外探测器的优选材料之一。本文报道中长波双色二类超晶格器件结构设计、材料外延、读出电路设计、芯片加工、组件化等方面研究进展，通过对刻蚀以及钝化工艺进行了优化，制备出性能良好的640×512中长双色二类超晶格红外探测器，主要指标实现像元中心间距20μm,读出方式同时读出，中波波段3.5～4.8μm,长波波段7.5～9.5μm,噪声等效温差中波28.8mK、长波38.8mK,响应率非均匀性中波4.52%、长波7.89%;盲元率中波1.2%、长波1.3%,并完成成像演示，成像质量良好，为双色红外探测器工程化应用奠定了基础。
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