【摘 要】
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在用不纯的氢氟酸浸泡过的硅片表面,吸附了大量的有害杂质,很难将其清洗干净。本文用实验数据说明其对半导体器件性能的影响,并提出了改进的方法。
In impure hydrofluoric
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在用不纯的氢氟酸浸泡过的硅片表面,吸附了大量的有害杂质,很难将其清洗干净。本文用实验数据说明其对半导体器件性能的影响,并提出了改进的方法。
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