【摘 要】
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一、前言测定石英玻璃中微量杂质的方法,主要有化学光谱法,无火焰原子吸收分光光度法,中子活化分析法和火花源质谱分析法。近年来,我院相继研究了一些测试方法,例如“石英玻
【机 构】
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一、前言测定石英玻璃中微量杂质的方法,主要有化学光谱法,无火焰原子吸收分光光度法,中子活化分析法和火花源质谱分析法。近年来,我院相继研究了一些测试方法,例如“石英玻璃化学成份分析方法”国家标准,“高纯石英玻璃中微量杂质元素的定量分析方法”。这两种分析方法在石英玻璃质量控制以及大规模集成电路用高纯石英玻璃制品的研制工作中发挥了重要的指导作用。但是,由于受到仪器性能的限制,单用
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