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一种基于四相检测技术的电荷转移式微电容传感器,具有很强的消除杂散电容影响的能力,适用于被检测对象电容值小于1pF的场合,分辨力达1fF,灵敏度高于1V/pF,并能输出4～20mA的电流.其优良的性能和低廉的价格,使得微电容传感器的广泛推广应用成为可能.
基于四相检测技术的微电容传感器
【摘 要】
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一种基于四相检测技术的电荷转移式微电容传感器,具有很强的消除杂散电容影响的能力,适用于被检测对象电容值小于1pF的场合,分辨力达1fF,灵敏度高于1V/pF,并能输出4～20mA的电
【机 构】
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商丘师范学院物理系
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2003年10期
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