【摘 要】
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以异丙醇铝（AIP）为前体,硝酸为胶溶剂,采用溶胶-凝胶法制备Al_2O_3无机薄膜.通过X射线衍射（XRD）、能谱分析（EDS）、红外光谱（FTIR）、热重-微分热重（TG-DTG）、接触角测试等表征,对无机薄
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以异丙醇铝（AIP）为前体,硝酸为胶溶剂,采用溶胶-凝胶法制备Al_2O_3无机薄膜.通过X射线衍射（XRD）、能谱分析（EDS）、红外光谱（FTIR）、热重-微分热重（TG-DTG）、接触角测试等表征,对无机薄膜的热稳定性及表面自由能进行研究.结果表明,随着焙烧温度的升高,C—H吸收峰减弱,Al—O—H键逐渐断裂,表面自由能先减小后增大;350℃时化学结构以Al—O键为主,物相结构由γ-AlOOH转变为γ-Al2O3,对应最强衍射峰（440）晶面处的晶粒尺寸达到4.2nm,膜材料对应的Al/O元素原子及
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