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期刊论文
离子镀膜技术的发展和应用
离子镀膜技术的发展和应用
来源 :电工电能新技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mynameisfish
【摘 要】
:
本文概述了离子镀膜技术的基本原理和特点,评述了几种主要的离子镀膜类型,综述了近几年来国内外离子镀膜技术的发展和应用.
【作 者】
:
游本章
【机 构】
:
中国科学院电工研究所
【出 处】
:
电工电能新技术
【发表日期】
:
1989年04期
【关键词】
:
离子镀膜
镀膜材料
阴极蒸发
空心阴极放电
真空电弧离子镀
离子镀膜设备
发展和应用
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本文概述了离子镀膜技术的基本原理和特点,评述了几种主要的离子镀膜类型,综述了近几年来国内外离子镀膜技术的发展和应用.
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