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国外硅基UMBIRFPA制备技术研究进展
国外硅基UMBIRFPA制备技术研究进展
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gz200009
【摘 要】
:
介绍了国外硅基非致冷微测辐射热计红外焦平面阵列(Si+UMBIRFPA)的典型结构,制备工艺技术以及UMBIRFPA的性能参数。
【作 者】
:
程开富
【机 构】
:
重庆光电技术研究所
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
红外探测器
红外焦平面阵列
热像仪
Uncooled Thermal Detectors
Micro-bolometer
Infrared Focal Plan
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介绍了国外硅基非致冷微测辐射热计红外焦平面阵列(Si+UMBIRFPA)的典型结构,制备工艺技术以及UMBIRFPA的性能参数。
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