高压硅堆反向漏电流IR1的改善

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高压硅堆在使用过程中要求反向漏电尽可能小,我公司经过大量分析研究,找到了影响漏电的关键因素,制作高压硅堆的原材料硅片和扩散源的品质直接影响了产品漏电的大小.通过试验对比验证,使用国产质量较好硅片(用美国ASIMI多晶材料生产的硅片)和高纯度硼源,解决了漏电大的问题,并应用于生产,提高了品质.
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