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压电微马达是微型机械领域中的一个崭新课题，本文从动力学角度对压电微马达进行有限元分析，得出固有频率和定子表面切应力场等重要的结论，并通过模型样机实验研究验证有限元分析结论的正确性，众而为压电微马达的优化设计奠定了基础。
压电微马达有限元分析及实验研究
【摘 要】
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压电微马达是微型机械领域中的一个崭新课题，本文从动力学角度对压电微马达进行有限元分析，得出固有频率和定子表面切应力场等重要的结论，并通过模型样机实验研究验证有限元分析
【机 构】
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清华大学精仪系,中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1995年6期
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