论文部分内容阅读
采用磁控溅射沉积方法在钛铝合金基体上制备有Ti与无Ti的类金刚石（DLC）膜，全方位离子注入（PSII）技术被用来在膜与基体之间形成过渡层，提高膜基界面的附着力。通过X射线光电子能谱、纳米压痕、摩擦磨损等表征手段比较2种薄膜的化学组成、微结构特征和力学性能。结果表明：掺Ti α-C：H膜是含有TiC纳米晶粒的复合膜结构，其中TiC晶粒的大小约是5nm，掺Ti α-C：H膜的力学性能得到明显改善，硬度被提高到24GPa左右，而且结合力也明显得到提高。在大气中对样品进行热处理后，再进行摩擦磨损试验，结果表明T