【摘 要】
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以涤纶织物为基底,高纯铝为靶材,利用磁控溅射法制备纳米铝薄膜。探讨了溅射气压、时间、功率和漫反射率对薄膜沉积速率和紫外线透过率的影响。试验结果表明,用该方法制备的铝膜
【基金项目】
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上海市纳米专项(05nm05005)
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以涤纶织物为基底,高纯铝为靶材,利用磁控溅射法制备纳米铝薄膜。探讨了溅射气压、时间、功率和漫反射率对薄膜沉积速率和紫外线透过率的影响。试验结果表明,用该方法制备的铝膜涤纶织物,对350~400nm波段的紫外线屏蔽效果良好,透过率较镀膜前降低1.54-2.28倍。
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