基于MEMS CAD加工工艺仿真研究

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【摘要】

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在MEMS设计中需要解决工艺设计的问题,基于MEMS CAD软件对MEMS关键加工工艺进行仿真研究,对于MEMS工艺水平的提高有着重要的意义.本文首先探讨了MEMS加工工艺种类和工艺建模,

【作者】

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陈勇

【机构】

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重庆市重庆邮电大学光电工程学院微电子工程重点实验室,400065

【出处】

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传感器世界

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

：

MEMS CAD 加工工艺 ACES 仿真

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在MEMS设计中需要解决工艺设计的问题,基于MEMS CAD软件对MEMS关键加工工艺进行仿真研究,对于MEMS工艺水平的提高有着重要的意义.本文首先探讨了MEMS加工工艺种类和工艺建模,然后以单晶硅各向异性腐蚀为例,借助MEMS CAD软件ACES对硅的湿法腐蚀工艺情况进行了仿真,其仿真结果对于基于MEMS CAD加工工艺进一步研究有一定的参考价值.

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