原型装置终端光学组件真空隔离结构设计

来源 :中国工程物理研究院科技年报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ghfgdfgg
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在原型装置磨合实验的实际考核过程中,发现终端光学组件内存在严重的油污染,致使化学膜在短时间内严重褪化。油污染的来源包括两个方面,一是终端光学组件内机械件表面及亚表面残留可挥发有机物,另一个来源是真空靶球表面及亚表面残留可挥发性有机物,这些有机物在常温常压下表现出较好的稳定性,但在高温或高真空下则挥发速度大大加快。
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