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报道了一种制备Sn-SnOx湿敏薄膜的新工艺(VETO)。首先在1mPa的真空下蒸发纯金属Sn质量分数999mg·g^-1,衬底温度控制在150 ̄250℃,蒸发的Sn膜在空气中缓慢氧化,即可获得湿度敏感的Sn-SnOx薄膜,利用XRD和SEM分析了膜的晶体结构和表面形貌,环境温度RH从10%变到97%时,膜阻抗变化的三个量级,膜电导是电子电导和离子电导的混合,在低湿区电子电导是主要的,在高湿区离子