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建立了电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）4定氧化镓中杂质元素的检测方法，采用微波消解技术溶样，以5ng／mLRh为内标补偿校正镓基体的抑制效应，采用碰撞室技术（CCT）消除多元素分子离子的干扰。方法的检出限为0．10～1．0ng／mL，加标回收率在85％～110％之间，RSD为0．6％-7．1％。该方法能满足99．95％～99．995％氧化镓中杂质元素的分析要求。