薄膜材料热物性测量的FDTR信号敏感度比较

来源 :中国科学院大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a370412412
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基于光热反射技术的原理,采用柱坐标下的傅里叶导热模型,以矩阵传递的形式,推导并计算得出连续型、脉冲型频域光热反射法(FDTR)的理论相位表达式,比较了二者测量2种常见结构的信号敏感度,得到具有不同基底热导率、薄膜热导率、界面热导的薄膜材料的FDTR实验测量方法选择的理论依据.结果表明,结合最佳拟合频率段的选取,采用合适的FDTR测量方法,可得到更高精度的材料热物性参数测量结果.
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