论文部分内容阅读
主掺杂质、固态外扩散杂质、气相自掺杂质、系统自掺杂质和金属杂质等五类杂质源是外延层中的常见杂质。主掺杂质决定外延层的电阻率。固态外扩散、气相自掺杂和系统自掺杂影响衬底界面附近的外延层杂质浓度的深度分布。金属杂质在外延层中对器件有害。本文系统地介绍了掺杂源的掺杂过程也给出了控制的方法。
硅外延层中的杂质
【摘 要】
：
主掺杂质、固态外扩散杂质、气相自掺杂质、系统自掺杂质和金属杂质等五类杂质源是外延层中的常见杂质。主掺杂质决定外延层的电阻率。固态外扩散、气相自掺杂和系统自掺杂影
【机 构】
：
上海市计量测试技术研究院200233
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
2003年02期
其他文献
游标卡尺是一种常用量具,由于主尺和游标尺框滑动结构为间隙配合,当操作者用力不同,导致测量数据因测量力的不同而发生变化,而在数显游标卡尺测量中这种情况尤为明显。通过对
目的观察伴有新月体形成的原发性IgA肾病的临床、病理特点，分析其对激素及环磷酰胺治疗的反应。方法收集包头医学院第一附属医院1997年8月至2015年04月收治的80例经肾活检确诊
针对现有的空调检测产线中出现的检测步骤繁琐、记录数据方式老旧、分析数据能力不足等问题,设计了一种智能检测系统:通过硬件系统和软件系统协调控制,实现了对于空调风机盘
本文通过对结合带地质建造、构造动力学特征及地壳岩体应力形变的深入分析,论证了结合带对川藏铁路区域工程地质环境的控制作用,分析由此产生的若干工程效应问题.①金沙江结
《了不起的盖茨比》创作于二十世纪二十年代,这一时期的自然生态、社会生态和精神生态均在小说中得到了细致的描述.该文旨在从文本细节入手,深入全面地分析其中的生态意蕴,以
林语堂《生活的艺术》中的生活美学基于中国中庸思想,提出精神和物质、灵与肉的和谐统一,倡导人们享受日常起居中的乐趣和智慧,抛却功利思想,寻求事物本真的状态.该思想不仅
通过对秭归盆地峡口剖面千佛崖组细碎屑岩样品的元素地球化学分析,恢复了区域内中侏罗世早期古气候的演化历程。结果显示:样品的化学风化指数(CIA)校正值的变化可分为2个阶段
布依族诗人莫友芝是清代宋诗派的代表诗人之一,其诗歌创作也是贵州少数民族诗人的重要创获,其诗歌的艺术风格不仅具有宋诗派生涩奥衍、奇崛险怪、议论纵横、以俗为雅的风格特
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
会议