论文部分内容阅读
设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关，开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用（110）硅片制作，其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列。具有集成性好，制作工艺简单，微反射镜的表面平整垂直，各单元的微镜面平行，反射镜面的尺寸较大等优点。对光开关的参数进行了测试，指出了体硅MOEMS阵列光开关制作过程中存在的问题。