【摘 要】
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分析了偶数点阵达曼光栅的设计原理与特性。利用数值优化方法 ,获得了一组 6 4× 6 4点阵达曼光栅解。光栅模版用电子束制版法制成 ,其最细线宽为 2 .5 μm。用光刻法实现了
【机 构】
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分析了偶数点阵达曼光栅的设计原理与特性。利用数值优化方法 ,获得了一组 6 4× 6 4点阵达曼光栅解。光栅模版用电子束制版法制成 ,其最细线宽为 2 .5 μm。用光刻法实现了这一位相光栅 ,并比较了不同位相光栅制作法的优缺点。原子力显微镜测得的光栅深度曲线与 6 4× 6 4点阵实验结果表明 ,此光栅结果接近理论值。
The design principles and characteristics of even-numbered dot matrix Darman grating are analyzed. Using the numerical optimization method, a set of 6 4 × 6 4 Dahman grating solutions is obtained. The grating pattern is made by electron beam lithography with a fine line width of 2.5 μm. The phase grating was realized by photolithography, and the advantages and disadvantages of different phase grating fabrication methods were compared. The experimental results of the grating depth curve and the 6 4 × 6 4 lattice measured by the atomic force microscope show that the grating result is close to the theoretical value.
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