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利用MOSFET的压阻效应,本文提出了力敏运算放大器的概念、基本原理和设计思想.作为其应用之一,研制出一种新型集成压力传感器--集成MOS力敏运放压力传感器.这种压力传感器具有很高的压力响应灵敏度,可望在诸多领域有广泛应用.
MOS力敏运算放大器
【摘 要】
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利用MOSFET的压阻效应,本文提出了力敏运算放大器的概念、基本原理和设计思想.作为其应用之一,研制出一种新型集成压力传感器--集成MOS力敏运放压力传感器.这种压力传感器具
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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2001年8期
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