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SEMICON China 2004期间，国际知名晶圆清洗设备制造厂商FSI公司适时地连续在上海和台湾召开了“FSI表面处理技术研讨会”与“针对65纳米制程的尖端清洗技术”研讨会，与客户共同分享FSI的成果及听取客户的意见，以达到共赢之目的。借此机会，我们采访了来自美国的FSI公司董事长兼首席执行官Donald Micchell先生，请他介绍FSI公司及所取得的成果。