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针对干式清洗中只被基底吸收和只被污染物吸收两种简单情况讨论了激光干式清洗的物理机理,并且给出了激光干式清洗典型的实验装置图。最后介绍了在激光干式清洗中与基底表面粒子相关的一些物理问题:光学谐振和近场效应。
激光干式清洗
【摘 要】
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针对干式清洗中只被基底吸收和只被污染物吸收两种简单情况讨论了激光干式清洗的物理机理,并且给出了激光干式清洗典型的实验装置图。最后介绍了在激光干式清洗中与基底表面
【机 构】
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南开大学物理学院光子学中心
【出 处】
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清洗世界
【发表日期】
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2005年08期
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