高分辨率a-Si:H摄象管制作工艺分析

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高分辨率a-Si:H摄象管制作工艺分析西北工业大学光电子研究室张哲a-Si:H光导型摄象管靶面采用高阻a-Si:H膜作光电导层,优点是无过荷开花,抗烧伤、高分辨,连续靶面,光谱响应覆盖可见区域且有红外延伸,靶面制作工艺简单,成本低,容易和微光管级联实... High-resolution a-Si: H tube manufacturing process analysis Northwestern Polytechnic University Photoelectron Zhang Zhe a-Si: H photoconductive tube target surface using high-resistance a-Si: H film for the photoconductive layer, the advantage is No flowering flowering, anti-burn, high resolution, continuous target surface, spectral response covering the visible area and infrared extension, the target surface has simple fabrication process, low cost and easy ...
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