【摘 要】
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高分辨率a-Si:H摄象管制作工艺分析西北工业大学光电子研究室张哲a-Si:H光导型摄象管靶面采用高阻a-Si:H膜作光电导层,优点是无过荷开花,抗烧伤、高分辨,连续靶面,光谱响应覆盖可见区域且有红外延伸
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高分辨率a-Si:H摄象管制作工艺分析西北工业大学光电子研究室张哲a-Si:H光导型摄象管靶面采用高阻a-Si:H膜作光电导层,优点是无过荷开花,抗烧伤、高分辨,连续靶面,光谱响应覆盖可见区域且有红外延伸,靶面制作工艺简单,成本低,容易和微光管级联实...
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