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利用正交试验,对溶胶-凝胶法(sol-gel)制备Al/Ga共掺杂ZnO透明导电薄膜(GAZO)的工艺进行优化,研究溶胶浓度、掺杂配比、热处理温度、薄膜厚度等因素对薄膜光电性能的影响规律.分别以薄膜的透光率和电阻率作为评价指标,确定制备GAZO薄膜的最佳工艺参数.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、可见分光光度计和双电测四探针电阻率测试仪分别分析薄膜的结构、表面形貌以及光电性能等.结果表明:Al和Ga的掺入未影响ZnO的晶体结构,也未生成其他杂质氧化物.最佳工艺条件下,薄膜在可见光范围内的透过率为88.458％,电阻率为2.66×10-3 Ω·cm.