【摘 要】
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SiC具备优异的物理特性，可显著提升微波射频、电力电子等器件的性能与能效，但高昂的衬底成本影响了SiC的广泛应用。除了长晶速度慢、良率低外，晶体加工也是其价格居高不下的重要原因。激光剥离技术结合激光垂直改质与可控晶体剥离，可实现低损耗、高效率、高质量的SiC晶体加工。介绍了SiC产业瓶颈、技术难点、激光剥离技术原理，并重点总结了激光剥离技术的研究进展。
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SiC具备优异的物理特性，可显著提升微波射频、电力电子等器件的性能与能效，但高昂的衬底成本影响了SiC的广泛应用。除了长晶速度慢、良率低外，晶体加工也是其价格居高不下的重要原因。激光剥离技术结合激光垂直改质与可控晶体剥离，可实现低损耗、高效率、高质量的SiC晶体加工。介绍了SiC产业瓶颈、技术难点、激光剥离技术原理，并重点总结了激光剥离技术的研究进展。
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