负压法临界流喷嘴气体流量标准装置真空气源系统设计原理

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真空气源系统是负压法临界流喷嘴气体流量标准装置的重要组成部分,作用是为整套装置提供检定用气,并保证系统在规定检定介质条件下运行。文章通过气源系统组成原理,给出了设计方案。
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