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本文主要叙述了单层胶剥离工艺及其原理,并对这项技术的关键问题进行了分析.文章还报导了剥离技术在Pb合金约瑟夫逊隧道结中的应用及I-V特性测试结果.其整个工艺过程均使用国产光刻胶和普通紫外曝光设备.
单层胶剥离工艺及其应用
【摘 要】
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本文主要叙述了单层胶剥离工艺及其原理,并对这项技术的关键问题进行了分析.文章还报导了剥离技术在Pb合金约瑟夫逊隧道结中的应用及I-V特性测试结果.其整个工艺过程均使用国
【机 构】
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中国科学院电子学研究所;
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1988年02期
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