【摘 要】
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挠性微加速度计是惯导系统的核心组件,主要采用胶粘接装配,因此研究胶层热传递和蠕变效应共同作用对揭示温度滞环对加速度计性能稳定性影响具有重要意义。本文针对因手工涂胶
【机 构】
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大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
【基金项目】
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＂高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项“高精度惯性器件微制造装备”课题项目（2013ZX04001-091）
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挠性微加速度计是惯导系统的核心组件,主要采用胶粘接装配,因此研究胶层热传递和蠕变效应共同作用对揭示温度滞环对加速度计性能稳定性影响具有重要意义。本文针对因手工涂胶导致的胶层厚度、溢出和倾斜等误差因素进行仿真,结果表明,第1周期的滞环值明显高于第二及以后周期的,应采用分步补偿。胶层溢出对滞环值的影响较大,溢出量为0.03 mm时,第1周期最大可达260 μg。胶层厚度在设计许可范围内,随厚度增加呈减小趋势。胶层倾斜量达到胶层厚度一半时,第1周期最大滞环值达120 μg。上述研究结果可为加速度计装配工艺优化提
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