【摘 要】
：
采用扫描电镜和紫外-可见分光光度计研究了Ag粒子在小团聚条件下辅助化学刻蚀Si过程中,刻蚀剂HF和氧化剂H2O2的体积比对刻蚀孔隙结构和刻蚀速度的影响.结果表明,HF和H2O2的体
【基金项目】
：
国家自然科学基金项目51171118;辽宁省自然科学基金项目20212339;沈阳市科技基金项目F10-205-1-60资助~~
论文部分内容阅读
采用扫描电镜和紫外-可见分光光度计研究了Ag粒子在小团聚条件下辅助化学刻蚀Si过程中,刻蚀剂HF和氧化剂H2O2的体积比对刻蚀孔隙结构和刻蚀速度的影响.结果表明,HF和H2O2的体积比对刻蚀Si中的孔隙生长速度和形貌有明显的影响,HF和H2O2的摩尔分数ρ=[HF]/（[HF]+[H2O2]）过低或过高均不利于孔隙的生长.当60%<ρ<80%时,Si可获得快速刻蚀,刻蚀速度为1050—1260 nm/min.此时,孔隙密度高,孔径较大且相互连通,沿垂直Si表面生长.所获得的Si表面对200—1000 nm波段太阳光的平均反射率可降至5.9%.此外,孔隙生长速度和形貌也与Ag颗粒的尺寸和形态密切相关.
其他文献
今年前11月，厦门市登记服务外包合同金额10．2亿美元，同比增长57．2％。其中：离岸服务外包合同金融3．6亿美元，同比增长88．7％；在岸服务外包合同金额为6．6亿美元，同比增长44．0％。同期全市服务外包
介绍了方波电压法测量液体介质tanδ的原理.分析了实现这一测量方法的技术关键.在测量系统的趋稳时间、测量时间的控制、测量系统各参数的设置和电流测量仪器选用等方面,提出
<正> 1 概述电容器的爆破是并联电容器装置的最严重事故,它不仅使装置设备损坏,而且可能导致火灾,破坏电网的安全运行。电容器爆破是一种严重破裂情况,电容器并联台数较多时
随着“互联网+”时代的到来,网络虚拟财产作为一种具有财产价值和物权属性的财产,其法律规制一直处于空白的状态。随着网络虚拟财产纠纷的日趋增加,网络虚拟财产出现了一系列
为了实现RV32IM处理器中整数乘法的操作,对RISC-V指令集中整数乘法的"M"标准扩展进行实现.设计中对于乘法指令的实现,采用基4的Booth算法和Wallace树型4-2压缩器.将该设计嵌
武警交通部队是一支承担国家重大能源交通项目建设,边远、艰苦地区国(边)防公路养护保通,以及维护社会稳定等任务的工程部队。2008年7月1日,经国务院、中央军委批准,将其纳入
为研究复方中草药提取物对凌云乌鸡公鸡药用价值的影响,试验随机选取刚出生的凌云乌鸡公鸡1 800只进行为期120 d的饲养试验,试验鸡群随机分为2组,每组3个重复。对照组饲喂基
为研究复方中草药提取物对凌云乌鸡母鸡药用价值的影响,试验随机选取1日龄凌云乌鸡母鸡1800只进行为期120d的饲养试验,试验鸡群随机分为两组,每组3个重复。对照组饲喂基础饲
我省3产品通过国家地标产品保护专家技术审查近日,我省推荐上报的连城红心地瓜干、平潭水仙花两项具有地域特色的产品顺利通过国家质检总局组织的专家技术审查会,不久将由国