液相外延生长碲锡铅异质结构的位错腐蚀坑

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用腐蚀法研究了液相外延生长的Pb_(1-x_Sn_xTe异质结构。在界面处和异质外延层中具有高腐蚀坑密度(≥1×10~7厘米~(-2)的晶格失配异质结构中出现了一致的图案。晶格失配越大,缺陷密度越高。小到~2×10~(-4)的失配就足以形成界面处的缺陷。低腐蚀坑密度衬底并未缓和界面和外延层的缺陷特性。与其他报导的结果相反,同质结构的整个外延层厚度,其位错腐蚀坑密度没有显著降低。已发现与相反异质结构Pb_(1-x)Sn_xTe/Pb_(1-y)Sn_yTe和Pb_(1-y)Sn_yTe/Pb_(1-x)Sn_xTe有关的一些差异。高生长温度(≥600℃)会使腐蚀坑密度降低和一些缺陷消失。据信,在高温下会发生加速成核、位错退火和体扩散。一些缺陷消失,其他一些在缓慢冷却下减少,但仍保留基本失配特点。 The corrosion behavior of Pb_ (1-x_Sn_xTe) heterostructures grown by liquid phase epitaxy has been studied by means of the corrosion method. The lattice loss at the interface and in the heteroepitaxial layer is high with the corrosion pit density (≥1 × 10 ~ 7 cm ~ 2) With a uniform pattern appeared heterogeneous structure lattice lattice mismatch the greater the higher the defect density as small as ~ 2 × 10 -4 mismatch enough to form a defect at the interface Low corrosion pits density lining At the end, the defect characteristics of the interfacial and epitaxial layers were not mitigated. Contrary to the results reported elsewhere, the density of dislocation corrosion pits did not significantly decrease over the entire epitaxial layer thickness of the homo- Some differences related to Sn_xTe / Pb_ (1-y) Sn_yTe and Pb_ (1-y) Sn_yTe / ​​Pb_ (1-x) Sn_xTe.High growth temperature (≥600 ° C) leads to a decrease of the corrosion pit density and some defects disappear. It is believed that accelerated nucleation, dislocation annealing, and bulk diffusion occur at high temperatures, some of the defects disappear and others decrease with slow cooling, while still retaining the basic mismatch characteristics.
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