一种近贴式微通道板空间光调制器

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:MagicStone2005
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对由光电阴极、微通道板、网电极及斜切电光晶体LiNbO3组成的新型全近贴式微通道板空间光调制器(MSLM)进行了系统地研究。详述了该器件的设计考虑及关键工艺过程。研制出了一种紫外光响应的开放式MSLM样管。并用其实现了二维光强度空间调制。
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