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分析了金刚石薄膜热导率的声子导热机理，从金刚石薄膜晶体结构的角度总结了影响热导率的因素，例如晶界、晶内杂质、缺陷、晶粒尺寸、晶粒取向、同位素；从金刚石薄膜合成工艺角度探讨了影响金刚石薄膜热导率的因素，例如基底材料及预处理、合成温度、气源及添加气体（氧气、氮气）、工作压强、功率等。
金刚石薄膜热导率的研究现状
【摘 要】
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分析了金刚石薄膜热导率的声子导热机理，从金刚石薄膜晶体结构的角度总结了影响热导率的因素，例如晶界、晶内杂质、缺陷、晶粒尺寸、晶粒取向、同位素；从金刚石薄膜合成工艺角度
【机 构】
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广东省工业技术研究院（广州有色金属研究院）,华南理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
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材料导报：纳米与新材料专辑
【发表日期】
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2013年1期
【基金项目】
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广东省科技计划项目（2011A081301003）
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