低压合成法制备三氯氢硅工艺概述

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【摘要】

：

<正>当前,90%以上的多晶硅制备工艺使用改良西门子法,这种工艺仍在发展完善中,在未来相当长的时间内还将占据主流地位。三氯氢硅(SiHCl3,英文缩写为TCS)是该工艺的一个重要原

【作者】

：

张文彪

【机构】

：

东华工程科技股份有限公司

【出处】

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新材料产业

【发表日期】

：

2013年08期

【关键词】

：

低压合成三氯氢硅 HCl

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<正>当前,90%以上的多晶硅制备工艺使用改良西门子法,这种工艺仍在发展完善中,在未来相当长的时间内还将占据主流地位。三氯氢硅(SiHCl3,英文缩写为TCS)是该工艺的一个重要原料,其制备工艺也得到了很大的发展,出现了3种不同的工艺方法:硅(Si)和氯化氢(HCl)的低压合成法、四氯化硅(SiCl4,英文缩写为STC)氢化转化法和二氯二氢硅

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