【摘 要】
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在玻璃衬底上依次采用化学水浴法（CBD）和真空蒸发工艺沉积CdS和CdTe薄膜,并在不同条件下进行热处理,制备了CdTe/CdS异质结复合薄膜。利用XRD、SEM、AFM和UV-VIS透射光谱对薄膜
【机 构】
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内蒙古医科大学物理教研室,内蒙古大学物理科学与技术学院,内蒙古自治区高等学校半导体光伏技术重点实验室
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在玻璃衬底上依次采用化学水浴法（CBD）和真空蒸发工艺沉积CdS和CdTe薄膜,并在不同条件下进行热处理,制备了CdTe/CdS异质结复合薄膜。利用XRD、SEM、AFM和UV-VIS透射光谱对薄膜的结构、表面形貌、剖面及光学性能进行了研究。结果表明：以玻璃衬底和CdS薄膜作为衬底沉积的CdTe多晶薄膜结构相似,均具有（1l1）面择优取向;不同条件下制备的薄膜致密且粒径均匀,随着热处理温度的升高,薄膜晶粒增大明显,并出现CdS层减薄的现象,但薄膜的粗糙度也随之增大;CdCl2氛围下热处理后,薄膜粒径增大,
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