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用反应溅射法制成了SiO2薄膜,应用傅立叶变换红外吸收光谱图研究其特性。Si-O-Si键的伸缩振动吸收峰和弯曲振动吸收峰分别位于1100cm-1和600cm-1附近。本文研究了吸收峰与薄膜厚度、氧含量、溅射温度等的关系,并结合XPS分析进行修正,目的用FTIR非破坏性快速方便检测SiO2薄膜。
溅射SiO2薄膜的红外特性研究
【摘 要】
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用反应溅射法制成了SiO2薄膜,应用傅立叶变换红外吸收光谱图研究其特性。Si-O-Si键的伸缩振动吸收峰和弯曲振动吸收峰分别位于1100cm-1和600cm-1附近。本文研究了吸收峰与薄
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院
【出 处】
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中国建材科技
【发表日期】
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2007年5期
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