【摘 要】
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在薄膜破坏中起主要作用的是个别的脉冲尖峰。分析了薄膜结构对薄膜受破坏的影响,以及SiO2保护膜在提高ZrO2/SiO2膜的抗激光强度中的作用。
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在薄膜破坏中起主要作用的是个别的脉冲尖峰。分析了薄膜结构对薄膜受破坏的影响,以及SiO2保护膜在提高ZrO2/SiO2膜的抗激光强度中的作用。
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