【摘 要】
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本器件的半导体衬底(1)上有若干两维线束(10)热电转换器(5)的表面上有一层红久外辐射吸收层(13)热电转换器吸收红外辐射后将其转换电信号。投影是在衬底表面通过用转换器会
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本器件的半导体衬底(1)上有若干两维线束(10)热电转换器(5)的表面上有一层红久外辐射吸收层(13)热电转换器吸收红外辐射后将其转换电信号。投影是在衬底表面通过用转换器会聚入射红外辐射的方式进行的。最好用通过化学汽相淀积方法形成的氧化硅薄膜作为膜作为投影材料。微透镜(9)使得转换器与透镜表面相对立。
The device has a number of two-dimensional wire harnesses (10) on the semiconductor substrate (1). The surface of the thermoelectric converter (5) has a layer of red long external radiation absorbing layer (13). The thermoelectric converter absorbs the infrared radiation and converts the electrical signal . Projection is performed on the surface of the substrate by converging incident infrared radiation with a transducer. It is preferable to use a silicon oxide film formed by a chemical vapor deposition method as a film as a projection material. Microlenses (9) allow the transducer to be opposed to the lens surface.
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