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硅在ＨＦ溶液中阳极溶解的研究尹峰李学萍肖绪瑞（中国科学院感光化学研究所，光电化学中心，北京１００１０１）关键词多孔硅，电流电压特性，电容电压特性Ｕｈｌｉｒ及Ｔｕｒｎｅｒ早在５０年代就已发现［１，２］，硅在ＨＦ溶液中阳极极化时，阳极电流大于某...
硅在HF溶液中阳极溶解的研究
【摘 要】
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硅在ＨＦ溶液中阳极溶解的研究尹峰李学萍肖绪瑞（中国科学院感光化学研究所，光电化学中心，北京１００１０１）关键词多孔硅，电流电压特性，电容电压特性Ｕｈｌｉｒ及Ｔｕｒｎｅｒ早在５０年代就已发现［１，２］，硅在ＨＦ溶液中阳极极
【机 构】
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中国科学院感光化学研究所
【出 处】
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感光科学与光化学
【发表日期】
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1997年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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