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介绍了日本HAHAMATAU公司改进表面分流型二维PSD传感器S1880及专用信号处理电路C4674,对传 感器线性度进行了大量实验研究。实验结果表明,传感器在A区应用时其非线性度误差≤1％。
改进表面分流型二维PSD传感器线性度的实验研究
【摘 要】
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介绍了日本HAHAMATAU公司改进表面分流型二维PSD传感器S1880及专用信号处理电路C4674,对传 感器线性度进行了大量实验研究。实验结果表明,传感器在A区应用时其非线性度误差≤
【机 构】
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南通工学院机械工程系
【出 处】
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南通工学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2004年01期
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