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建立了化学抛光液中甲酸、草酸、酒石酸、氨三乙酸等4种有机酸的离子色谱-抑制电导测定方法。采用Ion Pac AS11分析柱(250 mm×4 mm)和Ion Pac AG11保护柱(50 mm×4 mm),柱温30℃,以20 mmol/L氢氧化钠水溶液为洗脱液,在1.00 mL/min的流速下洗脱,4种酸可得到很好的分离。再结合AERS-500阴离子抑制器和电导检测器,测定了4种酸的含量。甲酸、草酸、酒石酸、氨三乙酸的质量浓度与其离子色谱峰面积有良好的线性关系,检出限分别为0.01、0.08、0.02和0