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稀土超磁致伸缩材料广泛应用于传感器、执行器。本文介绍了我们研制的一种磁致伸缩微位移工作台的结构、运动原理以及新型精密定位控制方法,即电磁式吸紧定位。实验测量微位移最小分辨率达2nm。整个微位移工作台结构简单,位移分辨率高,且能够实现双向可控运动。
磁致伸缩微位移工作台的新型定位方法
【摘 要】
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稀土超磁致伸缩材料广泛应用于传感器、执行器。本文介绍了我们研制的一种磁致伸缩微位移工作台的结构、运动原理以及新型精密定位控制方法,即电磁式吸紧定位。实验测量微位移最小分辨率达2nm。整个微位移工作台结构简单,位移分辨率高,且能够实现双向可控运动。
【机 构】
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武汉理工大学
【出 处】
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磁性材料及器件
【发表日期】
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2005年01期
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