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基于静电场和弹性薄板理论，建立了周边固支边界条件下静电驱动圆膜弯曲的理论模型，同时对比两种情况得出了在不同驱动电压下的位移分析．通过计算实例获得了其结构的振动振型、谐振频率及极限加载电压，利用Ansys软件针对静电驱动结构的振动进行了模态分析，得到了其振动模态振型和固有频率．
不同电压下静电驱动膜片弹性变形分析
【摘 要】
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基于静电场和弹性薄板理论，建立了周边固支边界条件下静电驱动圆膜弯曲的理论模型，同时对比两种情况得出了在不同驱动电压下的位移分析．通过计算实例获得了其结构的振动振型、谐
【机 构】
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上海电力学院能源与机械工程学院
【出 处】
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上海电力学院学报
【发表日期】
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2013年4期
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