MOCVD法横向外延过生长GaN薄膜

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:allonwxg
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍了金属有机化学气相沉积(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)法横向外延过生长GaN薄膜的原理,阐述了该技术形成选择生长和减少GaN薄膜缺陷密度的机理。综述了该技术的发展历程以及最新进展。新型的横向外延过生长技术大大简化了生长工艺以及降低了晶向倾斜。
其他文献
<正> 2002年7月26日在北京市委主办的第22届市长与专家“季谈会”上,北京减灾协会、北京系统工程学会的七位专家,就“安全奥运”的主题向市委、市政府及各委、办局的领导逐一
采用两步烧结工艺制备Sr0.3Ba0.7Bi3.7La0.3Ti4O15铁电陶瓷,研究了烧结工艺对陶瓷的晶相和介电性能的影响。结果表明:适当提高最高温度、保温温度和保温时间可改善陶瓷的介电
<正> 皇帝内经中是这样讲夏季养生之道的:此谓蕃秀,天地气交,万物华实。夜卧早起,无厌于日,使志无怒,使华英成秀,使气得泄,若所爱在外,此夏气之应,养长之道也。逆之则伤心,秋
【正】 大家都知道,一年里有24个节气,它们相互更替,轮回往复。节气的不同,形成了气候上的差异,稍加忽视,病痛上身。了解四季的发生及变化,就可以适时地生活,健康则成为你一
【正】 2001年9月16日-19日“纳莉”台风肆虐台湾。 据台湾有关方面的数据,全台确定死亡人数为88人、失踪13人、受伤208人。直接经济损失近300亿新台币。据台湾气象部门指出,
通过金银合金助催的碳热蒸发方式,在单晶Si衬底上生长了几种不同形貌的SnO2纳米结构。用SEM、XRD、Raman和PL等测试技术对其形貌、结构进行了表征。结果表明:PL光谱中观察到的3
2009年2月上旬,由中海石油投资控股有限公司投资兴建的3000t/a二氧化碳制可降解塑料生产装置投料成功并产出合格产品。该项目总投资1.52亿元,于2007年7月动工建设。
蓝蓝的天空,飘着白云;蓝蓝的海水,荡漾着轻舟。地处地中海之弯的墨西拿城,有着得天独厚的美丽与宁静。生活在这里的人们过着平静悠闲的日子,林中的小鸟安祥地鸣叫着,岸边的岩石热烈地回应着海鸟多情的眷顾,没有谁会想到1783年的卡拉布里亚半岛的地底,正酝酿着一次毁灭性的大地震。 2月5日,晴朗的天空突然乌去密布,海风骤起,刚才还平静如斯的海湾,突然晃动起来,岛上的万物犹如魔鬼手中的玩具,参天的大树倒了,晃